設(shè)備:表面平整度檢測儀Flat Master 200 SAW
廠商:美國Corporation Corning Tropel
用途:能夠快速和準(zhǔn)確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進行精密測量適用于,檢測SiC、GaN、藍寶石和玻璃等透明材料。
技術(shù)指標(biāo):
l 無接觸和無損傷測試
l 度:50nm (2.0μ″)
l 重復(fù)性:15 nm(0.6μ″)(1 sigma)
l 分辨率:5nm (0.2μ″)
l 適用2英寸,4英寸,6英寸,8英寸
l 適應(yīng)于多種類型表面:研磨面、拋光面、超光滑面
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